用于脈沖激光諧振腔或激光加工裝置的西格瑪光機光學元件，要求即使射入能量非常高的光線，也要保持元件不至破損的特性。這時的定量化的能量數(shù)值被稱為激光損傷閾值。該閾值對于挑選適用于高能量激光系統(tǒng)的光學元件以及設(shè)計相關(guān)光學系統(tǒng)至關(guān)重要。

激光損傷閾值的評估方法使用ISO21254國際標準中規(guī)定的S-on-1測試。

S-on-1

使用可以調(diào)節(jié)能量的脈沖激光，和能夠以適當?shù)哪芰棵芏日丈錂z測對象的裝置。

為了可以改變照射位置將檢測對象裝載在XY軸位移臺上，每次照射結(jié)束后改變位置。重復發(fā)射脈沖激光，在同一部位照射S次激光脈沖。

接著改變位置再次以相同能量照射S次。如此重復地使用相同能量照射檢測對象的10個位置。

然后改變激光能量，同樣地在10處進行照射S次。在激光能量可以調(diào)節(jié)的范圍內(nèi)重復這個操作。

使用150倍的顯微鏡觀察檢測對象的薄膜有無損傷。

相對能量密度，在圖表中表示損傷的出現(xiàn)率，從出現(xiàn)率曲線求出臨界（出現(xiàn)率為0%和0%以上的分界線）的能量密度。將這個數(shù)值定為激光損傷閾值。

照射回數(shù)和能量密度的照射位置關(guān)系

關(guān)于激光損傷閾值的注意點

激光損傷的出現(xiàn)率隨能量密度的變化

·激光損傷閾值隨所使用的激光波長，脈沖寬，和重復頻率的不同而不同。請確認所使用的激光和測試條件是否一致。

·脈沖激光有單模式（TEM00）激光和多模式激光。激光損傷閾值使用TEM00激光進行測試。

多模式激光隨激光的模式不同，有時可能形成局部能量密度很高的部位（峰值）。對于產(chǎn)生峰值的多模式激光，即使射入低于激光損傷閾值的激光，有時也會損傷光學元件。

使用多模式激光時，如果光學元件頻繁損傷，有可能是多模式諧振器的光學調(diào)節(jié)產(chǎn)生了問題。這種情況時，請確認模式或者聯(lián)系激光生產(chǎn)商。

·光學元件表面有灰塵或有油污時，即使有時是低能量密度下，光學元件也會受到損傷。使用高能量激光時，請務必清潔光學元件，在潔凈的狀態(tài)下使用。

·如果不在同一測試條件下評價激光損傷閾值的數(shù)值，將不能進行正確的比較。由于每個生產(chǎn)商的測試條件都不同，僅憑產(chǎn)品目錄的激光損傷閾值的數(shù)值不能判定光學元件的優(yōu)劣。

西格瑪光機為了使客戶能在安全條件下使用產(chǎn)品，采用了嚴格的測試條件。如果能夠在低于激光損傷閾值的條件下使用這些產(chǎn)品，和用于普通能量條件時相比，發(fā)生變質(zhì)或歷時變化的狀況將不會更壞。

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