光學(xué)元件基本用語(yǔ)說(shuō)明

面型精度

面型精度采用精密拋光表面與理想平面的偏差量來(lái)表征。因?yàn)槭褂每梢詼y(cè)量波面的干涉儀來(lái)測(cè)量，所以也被稱為反射波面精度。面型精度的干涉條紋數(shù)的單位是[λ]。λ是干涉儀所使用的氦氖激光器的波長(zhǎng)632.8nm。

另外，表征面型精度有兩個(gè)參數(shù)：PV和RMS值。

PV值是Peak to Valley（峰值與谷值的差值），RMS值是Root Mean Square（均方根值），根據(jù)經(jīng)驗(yàn)RMS值是PV值的1/3左右。因?yàn)橄笃矫孢@類的簡(jiǎn)單形狀，大多使用PV值來(lái)表示，所以本產(chǎn)品目錄中的面型精度使用PV值表示。例如，面型精度的PV值是1/2λ時(shí)，表示與理想平面的大偏差值是316.4nm。

表面質(zhì)量（劃痕－麻點(diǎn)）

精密拋光或鍍膜后的表面缺陷標(biāo)準(zhǔn)。劃痕為線狀缺陷，麻點(diǎn)為點(diǎn)狀缺陷。

劃痕－麻點(diǎn)為20－10時(shí)，表示沒有寬度大于20?m的劃痕，沒有寬度大于100?m的麻點(diǎn)。

西格瑪光機(jī)采用MIL-PRF-13830B標(biāo)準(zhǔn)，通過(guò)目測(cè)方式并且與標(biāo)本比較來(lái)進(jìn)行檢查。

激光損傷閾值

當(dāng)高功率的脈沖激光照射到光學(xué)元件時(shí)，可能會(huì)造成光學(xué)元件的鍍膜或玻璃材料的損傷。當(dāng)光學(xué)元件開始遭到損傷時(shí)的激光能量密度（J/cm2）被稱為激光損傷閾值。

西格瑪光機(jī)的激光損傷閾值采用ISO21254國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行S-on-1測(cè)試。通過(guò)比較光學(xué)元件的激光損傷閾值與所使用的激光能量密度※4，選擇高激光損傷閾值的光學(xué)元件。但是，100mJ/cm2以下的脈沖激光（脈沖時(shí)間10ns）或0.5W以下的連續(xù)激光幾乎不存在激光損傷閾值問題。

*4 能量密度 [J/cm2] = 激光能量 [J] / (π × 光束半徑 [cm]2)

P偏光，S偏光

當(dāng)光線斜入射到玻璃表面時(shí)，其反射率會(huì)隨入射光線的偏光方向而發(fā)生變化。在玻璃表面的法線和入射光束所構(gòu)成的平面內(nèi)振動(dòng)的光波被稱為P偏光，與P偏光正交方向振動(dòng)的光波被稱為S偏光。其他方向的偏振狀態(tài)可以認(rèn)為是不同比例的P偏光和S偏光合成的結(jié)果。

P偏光和S偏光的反射率由入射角度和玻璃的折射率所決定，因?yàn)樗麄冏裱姆▌t不同，所以P偏光和S偏光的反射率也是不同的。

光束偏轉(zhuǎn)角

在激光束光路中插入光學(xué)元件時(shí)，光束方向會(huì)發(fā)生偏轉(zhuǎn)，與原光束方向相比所偏轉(zhuǎn)的角度稱為光束偏轉(zhuǎn)角。光束偏轉(zhuǎn)角由光學(xué)元件的平行度和折射率決定。BK7在平行度為1分時(shí)的光束偏轉(zhuǎn)角相當(dāng)于0.5分。

偏心

以透鏡的外徑為基準(zhǔn)，轉(zhuǎn)動(dòng)透鏡時(shí)，如果是理想透鏡，轉(zhuǎn)動(dòng)透鏡時(shí)，透過(guò)光束或者聚光光束將不會(huì)變動(dòng)，如果理想透鏡的光軸，和透鏡外徑的中心軸存在角度偏差時(shí)，透過(guò)光束將按周圍軌跡運(yùn)動(dòng)。與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相比透過(guò)光束所擺動(dòng)的角度稱為偏心。

反射率，透過(guò)率隨波長(zhǎng)變化特性

產(chǎn)品目錄發(fā)布了幾乎所有光學(xué)元件的反射率，透過(guò)率隨波長(zhǎng)變化的特性曲線。這些反射率，透過(guò)率的特性曲線是使用分光光度計(jì)測(cè)量的結(jié)果。※5

產(chǎn)品目錄中不僅發(fā)布了設(shè)計(jì)保證波長(zhǎng)譜區(qū)的數(shù)據(jù)，也發(fā)布了更寬波長(zhǎng)譜區(qū)的數(shù)據(jù)。保證波長(zhǎng)譜區(qū)之外的數(shù)據(jù)，重復(fù)性較差而且互相差異也較大，信賴這些數(shù)值是危險(xiǎn)的。

在分光鏡等產(chǎn)品中，只發(fā)布了透過(guò)率的特性曲線，沒有發(fā)布反射率的特性曲線。因?yàn)槎鄬与娊赓|(zhì)膜是沒有吸收的，將特性曲線的縱軸倒過(guò)來(lái)，就可以很容易地推測(cè)出其反射率。※6

另外，測(cè)量結(jié)果中的入射角度和偏光方向是有規(guī)定的。在反射率測(cè)量的時(shí)候，入射角度為5°或者45°，在透過(guò)率測(cè)量的時(shí)候，入射角度為0°或者45°。

反射型光學(xué)元件在45°角入射時(shí)，P偏光和S偏光的曲線都有發(fā)表。這是因?yàn)槎鄬与娊赓|(zhì)膜的反射率特性隨偏光方向變化很大。但是有時(shí)受到版面限制。

曲線中沒有發(fā)布P偏光和S偏光的的結(jié)果，這時(shí)發(fā)布的結(jié)果為P偏光和S偏光的平均值。

*5 一部分光學(xué)元件使用了薄膜設(shè)計(jì)的模擬數(shù)據(jù)。

*6 因?yàn)殂t膜有吸收，1 - 透過(guò)率≠反射率。