通常,我們不容易直接觀測到1微米量級的動態(tài)現(xiàn)象的,此時,我們會選擇光學(xué)干涉儀進(jìn)行觀測。 例如,測量光學(xué)鏡頭的面精度的干涉儀,精密測量距離或位移的測長儀,需要精密測量位移變化的速度計或振動儀等,都是利用了光學(xué)干涉原理的典型儀器。
市場上銷售的大部分干涉測量裝置是由光學(xué)干涉部分和信號解析部分組成的。 采用先進(jìn)的電信號處理技術(shù),可以同時實(shí)現(xiàn)高分辨率和很寬的測量范圍。 但是,我們這里介紹的光學(xué)干涉裝置,并不包含干涉條紋的電信號處理內(nèi)容,我們重點(diǎn)介紹了其光學(xué)部分。因此,雖然其可觀測的范圍有限,但足以進(jìn)行干涉計測的基礎(chǔ)實(shí)驗和理論驗證。 干涉技術(shù)并不僅僅限于干涉計測,它在很多領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。此處介紹的內(nèi)容也可作為其基礎(chǔ)實(shí)驗的有益參考。 使用了干涉原理的應(yīng)用例 外差干涉儀 (Heterodyne interferometer) 激光陀螺 (Laser gyroscope) 光學(xué)相干斷層掃描儀 (Optical Coherence Tomography) 時間分辨干涉法 (Time-resolved interferometer) 全息技術(shù) (Holography) |