把像激光這樣的周期很規(guī)則的光分成2束后重新合成到一起就會(huì)觀測(cè)到干涉現(xiàn)象。

這是一種波的疊加，它會(huì)出現(xiàn)波峰和波峰，或波谷和波谷的重疊，而導(dǎo)致周期性的明暗條紋。

這個(gè)干涉條紋，實(shí)際顯示的是兩束光的光程差。條紋的周期反映了一個(gè)波長(zhǎng)長(zhǎng)度（折返光路是其1半）的相位差。但是，不能根據(jù)干涉條紋識(shí)別波長(zhǎng)整倍數(shù)部分的差異，所以實(shí)際觀測(cè)到的是小于波長(zhǎng)整倍數(shù)部分的相位差，或連續(xù)的相位變化。

選用He-Ne激光作為光源時(shí)，其波長(zhǎng)為632.8mm，在折返式干涉儀中，一個(gè)條紋僅相當(dāng)于約0.3微米。所以，應(yīng)用干涉原理，可以測(cè)量微小的位移，或變形。

干涉儀的感度好，容易得到高精度的測(cè)量結(jié)果。但同時(shí)，也容易受到振動(dòng)，或空氣擾動(dòng)等的影響。因此，干涉實(shí)驗(yàn)裝置通常會(huì)設(shè)置在防振平臺(tái)上，并置于暗室之中的。

用干涉儀測(cè)量面精度時(shí)，在光路的一側(cè)放置被測(cè)樣品，讓被測(cè)面的反射波面和另一個(gè)來自基準(zhǔn)面的波面疊加。

這樣，我就會(huì)得到一個(gè)反映了被測(cè)面形狀的彎曲的干涉條紋。

我們可從此干涉條紋的彎曲程度推測(cè)出被測(cè)面的面精度。