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西格瑪光機(jī)邁克爾遜干涉儀IFS2-MI-25

2021-01-06 11:16| 發(fā)布者: | 查看: |

西格瑪光機(jī)邁克爾遜干涉儀IFS2-MI-25是測試樣品面精度的，常用的干涉儀之一，利用反射鏡的2個垂直光路構(gòu)造是其大的特點(diǎn)，干涉條紋反映了2個反射鏡鏡面形狀的差異。

邁克爾遜干涉儀組件及原理圖

邁克爾遜干涉儀組件及原理圖

邁克爾遜干涉儀光學(xué)組成部件：

品名 型號 數(shù)量 光軸高度〔mm〕
激光組件 IFC2-L 1 171
空間濾波器組件 IFC2-SF 1 165
準(zhǔn)直鏡組件 IFC2-CL 1 160
反射鏡組件 IFC2-M 2 173
半透半反鏡組件 IFC2-BS 1 178
屏幕組件 IFC2-SC 1 222.5

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