工業(yè)顯微鏡觀察裝置系統(tǒng)怎么選?半導(dǎo)體、微機(jī)電、激光加工設(shè)備以及零部件的外觀檢查都會(huì)用到顯微鏡觀察裝置系統(tǒng),根據(jù)其環(huán)境的不同,所選的顯微鏡觀察裝置系統(tǒng)也不同。 西格瑪光機(jī)備有3種不同類型的顯微鏡觀察裝置系統(tǒng)??筛鶕?jù)不同的目的或用途,選擇優(yōu)良的方案。 變倍顯微鏡 安裝一個(gè)攝像頭后,便可得到從低倍到高倍的,倍率連續(xù)變化的圖象。 方便觀察半導(dǎo)體或微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等的復(fù)雜微細(xì)結(jié)構(gòu)。 另外,大的工作距離達(dá)500mm,非常適用從外面精細(xì)觀測(cè)高溫爐或真空腔內(nèi)的物體。 同軸照明觀測(cè)系統(tǒng) 配合使用物鏡和攝像頭,可在計(jì)算機(jī)上得到放大了的被觀測(cè)物體的圖像。 鏡筒上附有照明接口,配置自由度高,便于內(nèi)置于激光加工設(shè)備內(nèi)使用。 特別適用于較高倍率的觀察。 實(shí)體顯微鏡 雙眼觀察,視野大??捎^測(cè)到左右眼有視差的有立體感的圖像。 非常適用于電子零部件等的表面凹凸較大的物體的觀察。 工作距離大,容易實(shí)現(xiàn)邊觀察邊調(diào)節(jié)調(diào)試。 特別適用于需要頻繁更換被觀察物的場(chǎng)合,比如零部件的外觀檢查。 關(guān)于同軸照明觀測(cè)系統(tǒng)和變倍顯微鏡的性能對(duì)比和選用 一般來(lái)說(shuō),工作距離和可觀察范圍,大致成比例關(guān)系。 觀察倍率越高,工作距離就越短。 同軸照明觀測(cè)系統(tǒng)的話,通過(guò)更換物鏡,可改變工作距離和倍率,便于實(shí)現(xiàn)較高倍率的觀察。 它雖然不能變倍,但其分辨率較好,適用于微小結(jié)構(gòu)的觀察。 請(qǐng)注意,其綜合分辨率還受攝像頭和顯示屏分辨率的影響。 變倍顯微鏡鏡筒的分辨率一般比物鏡的低。 但其倍率可變,容易改變?cè)陲@示屏的顯示倍率,方便觀察。 就可觀察物體的大小而言,這兩個(gè)系統(tǒng)之間沒有很大的差別,但是,西格瑪光機(jī)的變倍顯微鏡具有更長(zhǎng)的工作距離。
系統(tǒng)構(gòu)成 變倍顯微鏡
同軸照明觀察裝置(觀測(cè)系統(tǒng))
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