SFS-H***西格瑪光機(jī)壓電納米位移臺，是一款采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器，實(shí)現(xiàn)了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達(dá)1nm的壓電陶瓷自動位移臺。

SFS-H***西格瑪光機(jī)壓電納米位移臺

SFS-H***西格瑪光機(jī)壓電納米位移臺，目前有6個標(biāo)準(zhǔn)型號：SFS-H40X(CL)、SFS-H40Z(CL)、SFS-H60X(CL)、SFS-H60XY(CL)、SFS-H60Z(CL)、SFS-H60XYZ(CL)，其中“數(shù)字”表示的是臺面尺寸：40*40mm或60*60mm，“X”表示的是水平單軸，“Z”表示的是垂直單軸，“XY”表示的是水平雙軸，“XYZ”表示的是水平加垂直三維平臺。

SFS-H***西格瑪光機(jī)壓電納米位移臺特征：

●采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷位移臺。

●采用壓電陶瓷作為驅(qū)動機(jī)構(gòu)，開環(huán)控制時的行程為90μm~100μm，理論分辨率達(dá)1nm。和開環(huán)控制相比，閉環(huán)控制時的行程(max)會少20%左右。

●位置檢測采用了數(shù)字位移傳感器（頻率→數(shù)字變換方式的微小位移傳感器），閉環(huán)控制時的顯示分辨率為10nm。

●使用FINE系列控制器，可實(shí)現(xiàn)高速定位。

●重復(fù)驅(qū)動SFS-H（直動）系列平臺，可達(dá)10~15Hz的頻率。使用FINE-01γ的模擬信號驅(qū)動時，可達(dá)25Hz。

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上海芬創(chuàng)信息科技有限公司2004年成立至今，作為專業(yè)的壓電納米位移臺產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)提供商，芬創(chuàng)科技長期致力于將國際上先進(jìn)的納米位移臺技術(shù)及研究方法介紹引進(jìn)到中國；專注為中國的光學(xué)電子/微電子/激光應(yīng)用/生物/醫(yī)藥/物理、光學(xué)研究機(jī)構(gòu)/計量檢測機(jī)構(gòu)/機(jī)械加工用戶提供高品質(zhì)的光學(xué)產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。