芬創(chuàng)科技與西格瑪光機(jī)為您帶來專業(yè)的直線運動自動滑臺精度測量指南，以下將詳細(xì)介紹各類精度指標(biāo)及測量方法。

一、位置精度

定位精度

從某一基準(zhǔn)點開始，在全行程范圍內(nèi)，按一定間隔，單方向依次定位。通過高精度測量設(shè)備，求出不同定位點的實際測量值和目標(biāo)值的差，其中大值和小值的差被定義為定位精度。

空行程

在滑臺的任意位置（兩端或中心等），從正方向及負(fù)方向進(jìn)行多次定位，求出各點停止位置的偏差值的平均值。定義其中的大值為空行程。

重復(fù)定位精度

在滑臺的任意位置（兩端或中心等），從相同方向進(jìn)行多次定位，求出停止位置的偏差值的大值。定義其數(shù)值中的大值為重復(fù)定位精度。

傳動副間隙

在滑臺的任意位置（兩邊·中心等），向正方向或負(fù)方向加載一定推力，我們定義其2個方向的偏移量的總和為傳動副間隙。

二、動作精度

運動平行度

我們定義滑臺在全行程范圍運動時，臺面在高度方向的偏移量為運動平行度。

XY垂直度

以XY軸滑臺的X軸為基準(zhǔn)，這時用直角尺測量Y軸方向在動作中的位移量。這個偏移量被定義為XY垂直度。

Z軸垂直度

在Z軸滑臺上設(shè)置千分表，并測量與某一基準(zhǔn)垂直臺間的相對偏移量。我們定義這個偏移量為Z軸垂直度。

三、參考值測量結(jié)果（OSMS20 - 35）

四、扭矩剛度（俯仰·偏擺·轉(zhuǎn)動）

扭矩剛度表征在偏離臺面中心的位置上施加某一載荷時的平臺傾斜程度。（臺面中心和工件重心不一致。）

我們定義在距離臺面中心1cm的位置上加載1N的負(fù)載時而引起的臺面的傾斜角度（單位：秒）為扭矩剛度。

五、姿態(tài)精度

俯仰

滑臺在移動過程中，在俯仰方向的臺面的角度變化量。我們定義其在全行程動作過程中的最大角度變化量為俯仰精度。

平行度

我們定義在固定不動時的平臺臺面與固定用基準(zhǔn)面的平行程度為平行度。

偏擺

滑臺在移動過程中，在偏擺方向的臺面的角度變化量。我們定義其在全行程動作過程中的最大角度變化量為偏擺精度。

六、（參考）XY軸平臺的精度測量

芬創(chuàng)科技與西格瑪光機(jī)提供的自動直線運動滑臺，通過嚴(yán)格的精度測量，確保了產(chǎn)品的高質(zhì)量和高性能，為您的精密運動控制需求提供可靠的解決方案。