掃描光學系統(tǒng)和聚光光學系統(tǒng)

2022-05-26 11:06| 發(fā)布者: | 查看: |

無掩模光刻，一般根據CAD數據進行直描加工，根據掃描方法不同，可分為掃描光學系統(tǒng)和聚光光學系統(tǒng)。（也有兩者結合的混合型）

掃描系統(tǒng)

聚光系統(tǒng)（附觀察系統(tǒng)）

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